遇到一个3411便携式空气粒子计数器

随着用于存储大量数据的表面几何形状的急剧减少,微粒监测对于微电子制造企业显得越来越重要。MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器的设计,以满足半导体无尘室监测,过程基准和颗粒故障排除应用的独特需求。

ISO 14464 ISO 14464的便携式空气粒子计数器在ISO 1和2环境中进行洁净室验证。

  • 0.1微米灵敏度(范围0.1μm-1.0μm)
  • 用可选收集器顺序采样
  • 风扇在操作期间无效,以最大限度地减少粒子冲击
  • 区域,位置和操作参数配置/复制的简化接口

选择一个MET ONE 3411型号

特性

标准

  • ISO 14644-1班级符合抽样
  • ISO 21501-4符合准确的过程基准和故障排除

数据管理

  • 无线,以太网,串行和USB通信
  • 印刷或无纸化数据输出
  • 开放通信架构

手术

  • 最多6个粒度通道(2.83LPM流速(0.1 CFM)
  • 序贯抽样能力
  • 长寿命激光技术提高性能和降低运营成本

应用程序

  • 半导体无尘室分类与监控
  • 持续的环境监测
  • 过程故障排除

产品规格

表现 ISO 21501-4单位对单位的精度和重现性
行业标准 ISO 21501-4,21 CFR第11部分,ISO 14644-1:2015,FCC,CE
光源 氦霓虹灯激光器
重合损失 %在1,765,000颗粒/m³(per iso 21501-4方法)
样品体积 5µm
吞吐量 每分钟28.32升
报告 欧盟GMP,ISO 146441-1.2015,FS209E,BS5295,ISO 14644-1:1999
零计数 ISO 21501-4&JIS B 9921(1计数或更少5分钟;上限95%)
计算效率 50%以0.1μm(颗粒100%>0.15μm,每个ISO 21501-4和JIS B 9921)
计数警报显示和循环 自定义告警计数、原始计数:N/CF、N/CM、N/L
项规范引用 2088800-02

技术文件